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德國Leybold真空計常見種類都有哪些呢

更新時間:2021-09-07點擊次數(shù):878
   德國Leybold真空計是測量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。按照真空儀測量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學(xué)性能,利用氣體動力學(xué)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空儀。
  德國Leybold真空計常見種類有下面這些:
  1.熱傳導(dǎo)真空儀
  利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測量氣體壓強(qiáng)。在這類真空儀中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。如用一附加的熱偶測量熱絲的溫度,則這種規(guī)頭稱為熱偶規(guī);如利用熱絲本身的電阻值來反映溫度,則稱電阻規(guī)或皮喇尼規(guī)。氣體熱傳導(dǎo)只在低壓強(qiáng) (P<100帕)下隨壓強(qiáng)變化,而低至10-1帕?xí)r氣體熱傳導(dǎo)又不是主要的散熱方式,因此熱傳導(dǎo)真空儀主要用于100~10-1帕范圍,采取特殊措施可擴(kuò)大測量范圍。
  2.皮拉尼真空儀
  其工作原理是:真空度不同,單位體積內(nèi)的空氣分子數(shù)就不同,對于正在發(fā)熱的電阻絲帶走熱量的能力(散熱能力)就不同,電阻絲溫度就不同,因為電阻絲的電阻率是溫度的函數(shù),所以不同的真空度就引起了電阻率的不同,則電阻就不同,電流在電阻絲上的壓降就不同,根據(jù)電壓的變化就能換算出空氣壓強(qiáng),也就是測量真空度。
  3.電容薄膜真空儀
  電容薄膜真空儀也是德國Leybold真空計的一種,它屬彈性元件真空儀,彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室,即參考壓強(qiáng)室和測量室。測量低壓強(qiáng) (P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測量室壓強(qiáng)不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應(yīng)改變,通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變,通常采用零位法測量,即在固定電極和薄膜之間加一直流電壓,利用靜電力補(bǔ)償薄膜受壓強(qiáng)差而產(chǎn)生的應(yīng)力,使膜片保持零位。電容薄膜真空儀可直接測量氣體或蒸氣的壓強(qiáng),測量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤,如對不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭,可得到較高精度。電容薄膜真空儀可用于高純氣體監(jiān)測、低真空精密測量和壓強(qiáng)控制,也可用作低真空測量的副標(biāo)準(zhǔn)。
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